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仪器名称 |
双束扫描电镜 | ||
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生产厂家 |
美国FEI公司 |
启用时间 |
2015年7月 |
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主要技术指标 |
离子束系统 分辨率≤5.0nm@30kV 加速电压为0.5kV-30kV,束流强度0.6pA-65nA; 电子束系统 分辨率≤2nm@30kV(二次电子)，≤1.0nm@15kV(二次电子),≤1.6nm@1kV (二次电子), STEM分辨率: ≤0.8nm@30kV(二次电子)，≤3nm@30kV(背散射电子)，最小束流1pA,最大束流400nA 成像CCD系统 分辨率400万像素，波长范围175-3300nm 能谱仪 晶体有效检测面积不小于100mm2,能量分辨率优于129eV(STD),最大计数率1600000cps,最大输出计数率>800000cps EBSD 扫描和指标化速度：1000点/秒，取向测量精度优于0.1度 全套三维重构软件、高分辨拼图功能 | ||
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主要功能及应用 |
为材料科学、微纳加工、半导体器件制造、纳米生物、地质学等领域提供SEM、BSE、STEM、EDS、EBSD、TEM样品制备、3D重构以及高分辨大面积拼图等分析。 | ||
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仪器管理员 |
李瑞 lirui@mail.gyig.ac.cn | ||
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安放地点 |
地球化学研究所1号楼104室 | ||
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配套设施 |
喷金/喷碳仪、震动抛光机 | ||