仪器名称 

双束扫描电镜 

生产厂家 

美国FEI公司 

启用时间 

2015年7月 

主要技术指标 

离子束系统 

分辨率≤5.0nm@30kV 

加速电压为0.5kV-30kV,束流强度0.6pA-65nA; 

电子束系统 

分辨率≤2nm@30kV(二次电子)，≤1.0nm@15kV(二次电子),≤1.6nm@1kV (二次电子), STEM分辨率: ≤0.8nm@30kV(二次电子)，≤3nm@30kV(背散射电子)，最小束流1pA,最大束流400nA 

成像CCD系统 

分辨率400万像素，波长范围175-3300nm 

能谱仪 

晶体有效检测面积不小于100mm²,能量分辨率优于129eV(STD),最大计数率1600000cps,最大输出计数率>800000cps 

EBSD 

扫描和指标化速度：1000点/秒，取向测量精度优于0.1度 

全套三维重构软件、高分辨拼图功能 

主要功能及应用 

为材料科学、微纳加工、半导体器件制造、纳米生物、地质学等领域提供SEM、BSE、STEM、EDS、EBSD、TEM样品制备、3D重构以及高分辨大面积拼图等分析。 

仪器管理员 

李瑞 lirui@mail.gyig.ac.cn 

安放地点 

地球化学研究所1号楼104室 

配套设施 

喷金/喷碳仪、震动抛光机